PVD真空镀膜-纯离子镀膜设备

2024-12-05 09:00 183.162.233.33 1次
发布企业
安徽纯源镀膜科技有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
3
主体名称:
安徽纯源镀膜科技有限公司
组织机构代码:
91340100394452746Q
报价
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技术
多弧磁过滤
价格
物美价廉
性能
稳定性能强
关键词
纯离子镀膜设备
所在地
合肥市高新区大别山路1599号
联系电话
0551-63652293
手机
18356509334
联系人
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产品详细介绍

PVD真空镀膜-纯离子镀膜设备

设备优势:

· 电磁过滤系统可过滤掉大颗粒离子团和原子团,膜层致密、粘附性好; 

· 电磁扫描系统,可定点定时控制等离子体的束流方向,极大改善涂层均匀性,整炉膜层均匀性控制±5%以内; 

· 可镀涂层厚度范围广:可镀100nm-28μm的超级类金刚石Ta-C膜层。

                                 设备基本性能参数

参数

PIS624/PIS622

PIS412/PIS422

PIS212/PIS213

镀膜源类型

阳极层线性离子源、磁控溅射源、纯离子镀膜源

极限真空/漏率

5×10-4Pa  / <10-11Pa•m3/s

抽气速率

< 30分钟(真空度3x10-3 Pa,空载)

真空室尺寸

Φ1200*1000

Φ1000*900

Φ800*750

均匀性

±5%

可选配套电源

直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等

工艺气体

Ar ,C2H2,N2、O2等

靶材匹配

石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶

真空系统

机械泵+罗茨泵+分子泵

控制方式

PLC+上位机

设备功率

70KW

50KW

30KW

配套要求

循环水压力:0.3-0.4MPa,压缩空气:0.5-0.75MPa



所属分类:中国机械设备网 / 真空镀膜加工
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成立日期2014年10月23日
法定代表人张心凤
注册资本800
主营产品真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。
经营范围纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
公司简介安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧(CathodeArc)、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(I ...
公司新闻
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