PEPIC系列多元化高致密金属镀膜设备

2024-12-27 09:00 183.162.233.33 1次

发布企业: 安徽纯源镀膜科技有限公司商铺
认证: 资质核验：
已通过营业执照认证

入驻顺企：
第
3
年

主体名称：
安徽纯源镀膜科技有限公司

组织机构代码：
91340100394452746Q
报价: 请来电询价
关键词: PEPIC,金属镀膜设备,真空镀膜
所在地: 合肥市高新区大别山路1599号
联系电话: 0551-63652293
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安徽纯源镀膜——PISC系列等离子体增强纯离子镀膜设备

设备优势：

Ø集纯离子镀膜技术（Pureion Cathode）+ 离子束清洗（Ionbeam）+磁控溅射（Sputter）+磁约束气相沉积（Magneticconfinement-CVD）于一体，是PVD技术与CVD技术的一次完美融合；

Ø可实现TAC-DLC的组合，获得TAC更高基础硬度与结合力的兼有DLC的沉积速率及细腻外观；

Ø比单纯CVD的结合力大幅度提升，降低了PVD的颗粒度，缩短工艺时间；

Ø可实现多种工艺C膜沉积，纯离子镀TAC，磁约束放电DLC，阳极层离子源镀DLC等。

设备基本性能参数
参数	PE213	PE422	PE624
镀膜源类型	阳极层线性离子源、磁控溅射源、纯离子镀膜源
极限真空/漏率	5×10-4Pa / <10-11Pa•m3/s
抽气速率	< 30分钟(真空度3x10-3 Pa，空载)
真空室尺寸	Φ800*H675	Φ1000*H1000	Φ1400*H1100
均匀性	±5%
可选配套电源	直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等
工艺气体	Ar ，C2H2，N2、O2等
靶材匹配	石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶
真空系统	机械泵+罗茨泵+分子泵
控制方式	PLC+上位机
设备功率	30KW	40KW	60KW
配套要求	循环水压力：0.3-0.4MPa，压缩空气：0.5-0.75MPa

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成立日期	2014年10月23日
法定代表人	张心凤
注册资本	800
主营产品	真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。
经营范围	纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
公司简介	安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(I ...

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