纯源镀膜采用Zui新镀膜技术,制造小型溅射镀膜或电子束蒸发设备,实现纳米级控制,保证研究工作更加灵活高效。无论是半导体研究、材料科学还是生物医学,纯源的设备都能满足您多样化的科研需求。
Ø专为科研院所及高校定制的小型溅射镀膜或电子束蒸发设备
Ø 可兼容多种规格的圆形平面溅射靶、E型电子束蒸发源
Ø可根据需求选用单腔室或双腔室,亦可增加高压反应腔室
Ø全自动软件控制,易于上手的操控界面,安全易用。
特点及优势:
可根据实验室及项目特殊需求,快速定制;
具备丰富的接口及可拓展性;
界面简单易用,有利于防止人为操作错误;
提供强大的工艺技术支持。