氦质谱检漏是一种快速、灵敏、可靠并且可以定位漏点的检漏方法。其主要优点包括：精度高，氦质谱检漏可以达到5E-12 mbarL/s甚至更高的精度，可以通过标准漏孔进行计量，并且重复性非常好。快速，尽快定位并修复漏点可以节省时间并减少报废。氦质谱检漏能够快速得到结果，响应时间一般仅需几秒至几十秒。可定位漏点，喷氦法，吸枪法等比较常见的氦质谱检漏方法可以确定泄漏的位置，便于后期处理漏孔或改进工艺。不受温度、产品形变、内表面放气等的影响，不会弄湿或污染工件。
使用氦质谱检漏仪真空模式检测真空焊接炉是业界所采用的较广泛的检测方法，真空焊接炉使用真空系统抽真空,氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。
氦质谱检漏仪技术参数（仅供参考）
zui小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa•m3/s
zui小可检漏率（正压模式） 5×10-9Pa•m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 ＜1s
启动时间 ≤2min
前级油泵抽速 1.8m3/h(0.5L/s)
外形尺寸（W×D×H） 510×490×380
重量 45Kg
歌博生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在真空设备检漏上，正在逐步替代进口品牌检漏仪在各行各业的密封泄漏问题解决中发挥着重要作用。
