氦质谱检漏仪轻松检漏，使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。氦质谱检漏仪是检漏领域里不可缺少的一种仪器，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏行业中得到了广泛应用。
一般操作流程如下
1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。
2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。
3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。
4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。
5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。
氦质谱检漏仪日常维护
1、定期更换灯丝，清洗冷规。
2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。
3、如加液氮，需定期清洗冷阱。
4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。
5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。
技术参数（仅供参考）
zui小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa•m3/s
zui小可检漏率（正压模式） 5×10-9Pa•m3/s
响应时间 ＜0.5s
启动时间 ≤2min
前级油泵抽速 30m3/h（8.3L/s)
外形尺寸（W×D×H） 780×420×1100
重量 80Kg
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