氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，因为氦气是惰性气体，对大气无污染、使用安全，氦原子量小、粘度小，易渗透任何可能存在的漏率，具有性能稳定、灵敏度高、适用范围广的特点，是目前真空检漏技术中灵敏度较高，使用普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏法的原理是利用不同质荷比的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的原理，将不同质荷比的离子分开，在相应半径上收集到示踪气体，如果被检件出现泄漏，则会检测到氦离子，再通过相应计算得出漏率大小。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在各行各业检漏中得到了广泛应用。是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
喷氦法、吸氦法是在真空检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪中的喷氦法是一种经常使用的检测方法，它采用氦气和高压空气充气，通过低温冷凝检测漏洞。使用喷氦法之前，应当注意检漏仪的安全操作，以及操作步骤的清楚，并且定期进行检查和维护保养，以确保检漏仪的安全使用。