氦质谱检漏仪可以用来检测各类压缩空气中包括氦在内的气体漏失量，这些气体可以是工业废气、普通气体，也可以是危险气体。由于它具有精度高、效率高、简便快捷等优点，已经在各行各业中得到了广泛的应用。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪中较常用的两种方法。
氦质谱检漏仪的工作过程（仅供参考，需要行业解决方案的请致电我们）
（1）首先，将气体放入检测仪内，打开电源，使气体在连接管路中循环流动；
（2）将氦原子以高速喷射方式产生，使其进入检测仪；
（3）漏失气体及氦原子在仪器内进行碰撞，产生能量谱；
（4）再将流过检测仪内，接入仪器的探测器，探测器对能量谱线进行测量；
（5）然后，仪器根据探测器的信号，经计算机处理后，计算出漏失气体的总量，而氦谱仪即可显示出检测结果。
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