为什么要检漏,在很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示踪气体,专门针对于有气密性要求的产品做密封性检测的质谱分析仪器。其基本原理采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,用磁偏转分离原理检出氦离子,通过测量氦离子流来确定漏孔大小及位置。一般的氦质谱检漏仪配置都有分子泵,机械泵或干泵,电磁阀,标准漏口,放大器,质谱专用模块等组成一套完整的检漏仪器。
氦质谱检漏仪已经在新能源动力电池、方形动力电池盖板、动力圆柱电池、汽配、阀门、真空、电力、制冷、半导体、航空航天行业,核工业、玻璃、镀膜、制冷、压缩机、发动机、传感器、连接器、手机、手表、潜水设备与仪器、仪器仪表、医疗器械、空调、聚合物锂电池、食品药品包装、洁具卫浴、家用电器、化工、油库、容器、真空烤箱、锅炉、新材料、精密器件、微电子、造船厂等行业有广泛的应用前景,通过进口核心部件与我们卓越稳定的控制系统和严谨的技术、营销、管理团队,赢得客户的信任和使用体验,获得客户好评!
部分设备技术参数(仅供参考)
zui小可检漏率(负压模式) 5×10-13Pa•m3/s
zui小可检漏率(正压模式) 5×10-9Pa•m3/s
响应时间 <0.5s
启动时间 ≤2min
前级油泵抽速 1.8m3/h(0.5L/s)