氦质谱检漏仪根据质谱分析原理，以氦气为示踪气体，对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子，带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力，而在磁场的作用下将做圆周运动，而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离，这门研究使不同质量的在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。
氦质谱检漏是一种常见也是更可靠的真空检漏方法，它是利用氦质谱检漏仪的磁偏转原理，对于泄漏气体氦气反应灵敏，从而确定漏点的检漏方式。这种检漏方法充分利用了氦气的强渗透、易流动、易扩散等性能，检漏过程不易受干扰，不会误判，反应快。在真空烧结炉检测时，首先给管路充气，把检漏仪按照要求接好，检漏仪监测点尽量接在前级真空管路上；其次是考虑检漏点的检漏顺序，一般来说，经常活动的真空部分是优先考虑的，比如真空室门的密封圈等，然后考虑真空系统的静态接触点，如真空规处、真空管路的外接法兰处等，之后是气路系统和水路系统。
氦质谱检漏仪由以下几部分组成：。
1. 用于检测氦质量的光谱仪。
2. 用于维持分光计压力的真空系统。
3. 用于抽真空待测部件的机械泵。
4.支持各种测试阶段的阀门:抽真空，测试和排气。
5.放大器和读出仪器，用于监测输出信号。
6. 电源和控制。
7. 将待测零件连接到检测器的夹具上。
我们家的氦质谱检漏仪，检测精度高，反应速度快，在业内积累了良好的口碑。完善的售后服务体系，的维修工程师，对客户的服务要求实行24小时响应，为产品的稳定运行提供了有力的保障。更多氦质谱检漏技术，欢迎致电我们，免费给出行业方案！