可退类金刚石涂层的设备-纯源退膜机
更新：2026-01-13 08:30 编号：42343918 发布IP：218.23.120.178 浏览：4次
- 发布企业
- 安徽纯源镀膜科技有限公司
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第4年主体名称：安徽纯源镀膜科技有限公司组织机构代码：91340100394452746Q
- 报价
- 请来电询价
- 关键词
- 离子刻蚀,反应刻蚀
- 所在地
- 合肥市高新区习友路3789号
- 联系电话
- 0551-63652293
- 手机
- 18130098408
- 微信号
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详细介绍
RIE系列设备参数 | |||
炉体尺寸 | 可定制 | 有效空间 | 可定制 |
工件zui大直径*数量 | 依工件尺寸定量 | 抽气时间 | 大气到6X10-3 <15分钟 |
工作电压/频率 | 380V/50Hz | 实际功率 | 50KW |
应用技术 | RIE | 镀膜源类型 | 离子束清洗源 反应气体刻蚀 |
极限压力 | 5.0*10-4Pa | 漏率 | <10-9Pa.L/s |
标准涂层 | DLC,等 | 其它复合涂层 | DLC等金刚石膜（DLC） |
基片转架 | 公转+自转 | 真空室结构 | 立式单开门 |
电源类型 | 弧电源、脉冲偏压电源、电子枪电源 | 真空系统 | 分子泵、罗茨泵、旋片泵 |
生产周期 | 4-24小时/炉 | 外围尺寸 | 可依安装场而制 |
产量/炉 | 依客户工件尺寸定量 | 配套条件 | 循环水压力：4KG/CM3 |
冷却纯水水量：2T/H | |||
压缩空气：4-6 KG/CM3 | |||
控制方式 | PLC+触摸屏+组态软件 | 工艺气体 | Ar |
工业PC+PLC+触摸屏 | |||
自己开发的镀膜专用软件 | |||
适用范围 | 主要利用离子能量清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用， | ||
备注 | 真空室尺寸，设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做，外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。 | ||
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市高新区习友路3789号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(IB ... | ||
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