真空镀膜设备-磁过滤系列
更新：2026-01-13 08:30 编号：42326447 发布IP：218.23.120.178 浏览：9次
- 发布企业
- 安徽纯源镀膜科技有限公司
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第4年主体名称：安徽纯源镀膜科技有限公司组织机构代码：91340100394452746Q
- 报价
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- 关键词
- 磁过滤系统,电磁扫描系统,制备膜层均匀致密,超高硬度
- 所在地
- 合肥市高新区习友路3789号
- 联系电话
- 0551-63652293
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详细介绍
设备优势：
电磁过滤系统可过滤掉大颗粒离子团和原子团，膜层致密、粘附性好；
电磁扫描系统，可定点定时控制等离子体的束流方向，极大改善涂层均匀性，整炉膜层均匀性控制±5%以内；
可镀涂层厚度范围广：可镀100nm-28μm的超级类金刚石Ta-C膜层
参数 | PIS624/PIS622 | PIS412/PIS422 | PIS212/PIS213 |
镀膜源类型 | 阳极层线性离子源、磁控溅射源、纯离子镀膜源 | ||
极限真空/漏率 | 5×10-5Pa / <10-11Pa•m3/s | ||
抽气速率 | < 30分钟( 真空度3x10-3 Pa，空载) | ||
真空室尺寸 | Φ1200*1000 | Φ1000*900 | Φ800*750 |
均匀性 | ±5% | ||
可选配套电源 | 直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等 | ||
工艺气体 | Ar ，C2H2，N2、O2 等 | ||
靶材匹配 | 石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶 | ||
真空系统 | 机械泵+罗茨泵+分子泵 | ||
控制方式 | PLC+上位机 | ||
设备功率 | 70KW | 50KW | 30KW |
配套要求 | 循环水压力：0.3-0.4 MPa，压缩空气：0.5-0.75 MPa | ||
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市高新区习友路3789号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(IB ... | ||
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