



设备优势:
PI系列融合了纯离子镀膜技术(PIC)、离子束清洗技术(IONBEAM);
本系列标配双腔室结构,更好的满足高真空镀膜需求;
配套有更高效的电磁过滤系统,极好的获得纳米级超洁净涂层
专注于超洁净纳米TAC涂层制备,广泛应用于玻璃模压成型模具表面改性
可镀10nm-1μm的超级类金刚石Ta-C膜层
装卸载腔 工艺腔 | 420*500*525(mm) 720*580*550(mm) | 镀膜范围 | Φ250mm |
极限真空 | <5x10-5 Pa | 抽气时间 | 大气到6x10-3 <15分钟 |
应用技术 | PIC+IBE | 源类型 | 纯离子源、阳极层离子源、ICP源 |
涂层类型 | Ta-C、DLC、金属氮化物、碳化物 | 生产周期 | 1-3小时/炉(根据产品) |
工艺气体 | Ar、N2、O2、C2H2等 | 外围尺寸 | L3410*W4328*H2310(mm) |
控制方式 | 上位机+PLC,全自动控制 | 配套条件 | 循环水压力:0.2-0.5MPa |
冷却纯水量:不低于8m3/h | |||
压缩空气:0.5-0.75 MPa |
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动) | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市高新区习友路3789号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧(CathodeArc)、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(IB ... | ||