光学模具镀膜机——PI 系列镀膜机
纯源研制的PI系列镀膜机采用独有的纯离子镀膜源核心技术,可以提供优质的类金刚石Ta-C膜层,设备PIS210-2腔体结构由装载腔室+真空镀膜工艺腔室组合而成,镀膜工艺系统由纯离子镀膜(PIC)+离子束清洗(IONBEAM)融合而成。本设备为全自动设备,模块化控制,操作简单,维护方便,一键式操作即可完成多层膜镀膜沉积,适合光学镜头模具,及精密高端产品的镀膜。
主要特点和技术优势:
1、PI系列(PIS210-2)配有高效的电磁扫描系统和过滤系统,离子束能量和方向可调,经过磁过滤后沉积粒子的离化率接近,并且可以过滤掉大颗粒,制备的纳米薄膜非常致密和光滑,抗腐蚀性能好,与工件的结合力很强,在均匀性、致密性、结合度、硬度、摩擦系数具有独特优势;
2、膜层中的碳四面体结构((金刚石键SP3键)可以达到75%以上的,其物理化学性质和金刚石极其类似,薄膜具有极高的硬度(>75GPa),极低的摩擦系数(<0.1),耐腐蚀性、光学透明度等一系列优异特征。可将镀膜件(基体)寿命比通常的DLC镀膜延长7-10倍以上。
3、采用纯离子低温镀膜工艺,镀膜过程控制在80〫C以下,可避免热应力和基材变形。
4、腔体结构由一个装载腔室和一个真空镀膜工艺腔室组合而成。两腔室可同步抽真空,极大缩短了镀膜前处理时间,提高工作效率。
5、采用自主设计电杆传动系统,采用变频调速电机驱动,运行速度可调节,运行可靠;
6、装载腔室和镀膜工艺腔室之间我们设计采用插板阀隔开,可以有效隔断,稳定工艺气体。
注明:以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司-先进材料实验室-检测结果