





PEPEIC系列设备主要是(集)一体化高性能弧源技术(PEPIC)、 高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应多种镀膜靶材,无论金属、非金属及各类复合材料都可以利用此设备进行镀膜及成膜,膜层具有高致密性、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。设备可镀制各类金属复合物涂层如:TiN、TiCN、TiAlN、CrN;金属涂层如:Cu、Au、Ag等。设备具备可编程序控制器(PLC)+人机界面(HMI)组合电气控制系统,可实现全自动化控制
。
Ø PEPIC系列设备采用高效的电磁过滤系统,能有效过滤大颗粒及杂质,可制备兼具“功能性”与“装饰性”的优质膜层;
Ø 采用全新的弧源设计,应用Zui新的电弧技术,可大幅度提高弧源连续工作的可靠性,缩短设备维护时间;;
Ø 可用于制备各类金属、合金、金属氮化物涂层,制备的涂层具有硬度高、致密性好、表面光洁度高和耐腐蚀性能优越的特点;
Ø 自主设计的智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统可实现远程在线控制。
参数 | PE624 | PE422 | PE213 |
镀膜源类型 | 高能离子束清洗源、磁控溅射源、磁控多弧源 | ||
极限真空/漏率 | 5×10-5Pa/<10-11Pa•m3/s | ||
抽气速率 | <30分钟(真空度3x10-3Pa,空载) | ||
真空室尺寸 | Φ1350*1400 | Φ1350*1045 | Φ800*675 |
均匀性 | ±5% | ||
可选配套电源 | 直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等 | ||
工艺气体 | Ar,C2H2,N2,O2等 | ||
靶材匹配 | Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶 | ||
真空系统 | 机械泵+罗茨泵+分子泵 | ||
控制方式 | PLC+上位机 | ||
设备功率 | 70KW | 50KW | 30KW |
配套要求 | 循环水压力:0.3-0.4MPa,压缩空气:0.5-0.7MPa | ||
消费电子行业、智能穿戴、金属配饰工模具、切削刀具等精密零部件都可用此款设备为客户镀制需要的颜色+功能涂层。
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动) | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市高新区习友路3789号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧(CathodeArc)、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(IB ... | ||









