可以制备硬度达到6000HV的涂层镀膜设备

更新:2026-01-13 08:30 编号:43050681 发布IP:218.23.120.178 浏览:6次
发布企业
安徽纯源镀膜科技有限公司
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资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
4
主体名称:
安徽纯源镀膜科技有限公司
组织机构代码:
91340100394452746Q
报价
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膜层厚度
纳米、微米膜层系列米
镀膜温度
<150℃
膜层性能
超硬、耐腐蚀、防刮花、防粘黏、强附着力
关键词
磁过滤系统,电磁扫描系统,制备膜层均匀致密,超高硬度
所在地
合肥市高新区习友路3789号
联系电话
0551-63652293
手机
18130098408
微信号
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联系人
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详细介绍

设备优势:

Ø 电磁过滤系统可过滤掉大颗粒离子团和原子团,膜层致密、粘附性好;

Ø 电磁扫描系统,可定点定时控制等离子体的束流方向,极大改善涂层均匀性,整炉膜层均匀性控制±5%以内;

Ø 可镀涂层厚度范围广:可镀100nm-28μm的超级类金刚石Ta-C膜层。

设备参数

参数

PIS624/PIS622

PIS412/PIS422

PIS212/PIS213

镀膜源类型

高能离子束清洗源、磁控溅射源、纯离子镀膜源

极限真空/漏率

5×10-5Pa/<10-11Pa•m3/s

抽气速率

<30分钟(真空度3x10-3Pa,空载)

真空室尺寸

Φ1350*1400

Φ1350*1045

Φ800*675

均匀性

±5%

可选配套电源

直流、脉冲直流、中频、射频、高功率脉冲等

工艺气体

Ar,C2H2,N2,O2等

靶材匹配

石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金属单质或合金靶

真空系统

机械泵+罗茨泵+分子泵

控制方式

PLC+上位机

设备功率

70KW

50KW

30KW

配套要求

循环水压力:0.3-0.4MPa,压缩空气:0.5-0.7MPa

 

设备应用领域

消费电子、交通工具、医疗器械、高校及科研院所、工业耗材制造等行业。


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成立日期2014年10月23日
法定代表人张心凤
注册资本800
主营产品真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。
经营范围纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
公司简介安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市高新区习友路3789号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧(CathodeArc)、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(IB ...
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