真空镀膜设备——光学模具镀膜
PI系列镀膜机(纯源镀制)
采用独有的纯离子镀膜源核心技术,可以提供优质的类金刚石Ta-C膜层。设备PIS210-2腔体结构由装载腔室+真空镀膜工艺腔室组合而成,镀膜工艺系统由纯离子镀膜(PIC)+离子束清洗(IONBEAM)融合而成。本设备为全自动设备,模块化控制,操作简单,维护方便,一键式操作即可完成多层膜镀膜沉积,适合光学镜头模具,及精密高端产品的镀膜。
主要特点和技术优势:
Ø PI系列(PIS210-2)配有高效的电磁扫描系统和过滤系统,离子束能量和方向可调,经过磁过滤后沉积粒子的离化率接近,并且可以过滤掉大颗粒,制备的纳米薄膜非常致密和光滑,抗腐蚀性能好,与工件的结合力很强,在均匀性、致密性、结合度、硬度、摩擦系数具有独特优势;
Ø 膜层中的碳四面体结构((金刚石键SP3键)可以达到75%以上的,其物理化学性质和金刚石极其类似,薄膜具有极高的硬度(>75GPa),极低的摩擦系数(<0.1),耐腐蚀性、光学透明度等一系列优异特征。可将镀膜件(基体)寿命比通常的DLC镀膜延长7-10倍以上。
Ø 采用纯离子低温镀膜工艺,镀膜过程控制在80〫C以下,可避免热应力和基材变形。
Ø 腔体结构由一个装载腔室和一个真空镀膜工艺腔室组合而成。两腔室可同步抽真空,极大缩短了镀膜前处理时间,提高工作效率。
Ø 采用自主设计电杆传动系统,采用变频调速电机驱动,运行速度可调节,运行可靠;
Ø 装载腔室和镀膜工艺腔室之间我们设计采用插板阀隔开,可以有效隔断,稳定工艺气体。
应用领域和范围:
Ø 精密光学行业(光学企业、照相摄像机企业等);高精机械加工行业(刀具、模具、精密机械零部件等);科研单位(研究所大学实验室)等;
Ø 可以对温度敏感的基材镀膜,如橡胶、塑料等高分子聚合物产品;
Ø 本项目为交钥匙设备,纯源公司提供提供整套解决方案,包括稳定成熟镀膜配方,设备交接后即可投产;
Ø 真空室尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。
注明:以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司-先进材料实验室-检测结果