涂层退膜-【反应离子刻蚀设备】-【退膜机】
· 设备原理：
>通入刻蚀室的工艺气体分子分解电离，产生等离子体。
>由等离子体中的部分活性基团与被刻蚀材料表面发生化学反应;
>通过脉冲/射频电源，使等离子体中的正离子对被刻蚀材料表面进行物理轰击，从而以物理、化学相结合的方法对材料表面，进行清洁、改性、刻蚀的目的。
· 应用领域：
>可褪碳基薄膜，可作为DLC/Ta-C薄膜的褪膜机使用，
>可刻蚀材料:金属，非金属，合金，半导体(单晶硅、非晶硅、多晶硅、SOI)，金属氧化物，氮化物碳化物，陶瓷，聚合物，超导材料等;
>可应用在:3C消费电子，半导体，光学，交通工具，刀具模具，家电，新能源，医疗，航空航天，科研等行业。
· 刻蚀前后效果对比：
注明：以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司-先进材料实验室-检测结果
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(I ... | ||