PVD真空镀膜-金属氮化物膜层镀膜设备
设备可加工的膜层系列:氮化钛氮化铬 氮化铝钛氮碳钛等涂层加工服务
设备主要特点及技术优势:
· PEPIC系列设备采用高效的电磁过滤系统,能有效过滤大颗粒及杂质,可制备兼具“功能性”与“装饰性”的优质膜层;
· 采用全新的弧源设计,应用了新的电弧技术,可大幅度提高弧源连续工作的可靠性,缩短设备维护时间,可用于制备各类金属、合金、金属氮化物涂层,制备的涂层具有硬度高、致密性能好、表面光洁度和耐腐蚀性能优越的特点;
· 自主设计的智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统可实现远程在线控制。
设备参数:
设备应用产品: