PVD真空镀膜-纯离子镀膜设备 类金刚石膜层
设备可生产的膜层系列:类金刚石涂层镀膜设备(纯离子镀膜设备--多弧离子镀工艺技术)专业镀制:DLCTAC膜层加工服务
设备主要特点及技术优势:
· 纯离子镀膜可过滤掉大颗粒离子团和原子团,膜层致密、粘附性好;
· 设有电磁扫描装置和软件,可定点定时控制等离子体的束流方向,极大改善了镀膜均匀性问题,整炉膜层均匀性控制±5%以下;
· 优化的磁场设计及冷却设计,维护方便,靶材可以连续24小时工作;
· 采用通用接口尺寸,互换性强,优化升级方便;友好的人机界面,实时记录工艺数据,利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等;
· 模块化工艺配方,灵活设定子配方和总配方,子配方添加/删减方便,一键式操作即可完成多层工艺配方;
· 本项目为交钥匙设备,纯源公司提供整套解决方案,包括稳定成熟镀膜配方,设备交接后即可投产;
· 真空室尺寸,设备外观等可按客户产品及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。
设备参数:
设备可生产应用的产品: