安徽纯源镀膜科技有限公司(简称纯源镀膜),坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号,是由新加坡归国创业团队于 2014年创立的高科技公司。主要从事中高端真空镀膜设备的设计、研发、制造;并提供多种纳米、微米级膜层的工艺开发,以及各种膜层的镀膜生产和服务。
公司拥有多项核心技术,自主研发出纯离子镀膜设备、离子清洗刻蚀机以及磁控溅射设备等多项专利产品,开发出Ta-C、DLC碳基薄膜,低温氮化物和碳化物膜(TiN,TiSiN,ClAlSiN,CrN,TiC,CrC,CrWC等),以及高致密的金属/合金薄膜等,应用领域从交通工具到光学产品,从大众消费电子到国防航 天及科研院所,从半导体到新能源新材料行业。
其中IS系列镀膜机是采用本公司成熟的专利技术①:高能离子束清洗(IonbeamCleaning)+磁控溅射源(Magnetron Sputtering),设备采用全自动化控制,模块化集成优化,设备功率高、稳定性能好、操作简单且维护方便。为满足不同的镀膜需求,腔室内可设计配置平面圆形靶、条形靶和圆柱靶等多种靶材,可获得致密度高、均匀性能好的多层复合膜,包括各种金属、半导体、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷薄膜等;适合研发及批量镀膜服务。
图1 IS系列磁控溅射镀膜机正面和背面
主要特点和技术优势:
独特的空间设计和磁控溅射专利技术①,可获得均匀性好、结合力强、摩擦系数低的各类型薄膜,包括各种金属、半导体、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷薄膜等;
优化的磁场设计,有效水冷设计,靶材可以连续24小时工作;
模块化工艺配方,灵活设定子配方和总配方,子配方添加/删减方便,一键式操作即可完成多层工艺配方。
友好的人机界面,实时记录工艺数据,利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等;
本项目为交钥匙设备,纯源公司提供整套解决方案,包括稳定成熟镀膜配方,设备交接后即可投产,可用于研发和量产;
真空室尺寸,磁控溅射和阳离子清洗源、设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。
应用领域和范围:
可镀Cu、 Au、Cr、Ni、Ta、TiN、TiC、TiCN、TiAlN、 CrN、 DLC等金属、非金属及陶瓷氧化物的各类膜层和复合膜层;
可用于液晶显示、硬质耐磨、太阳能电池、材料保护和防腐、建筑物玻璃、光学和装饰膜层、磁光信息存储、铁磁材料等各个领域;
图2 磁控溅射镀膜的应用图