真空镀膜设备定制化——IS系列真空镀膜机 （离子束清洗+磁控溅射）

      安徽纯源镀膜科技有限公司（简称纯源镀膜），坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号，是由新加坡归国创业团队于 2014年创立的高科技公司。主要从事中高端真空镀膜设备的设计、研发、制造；并提供多种纳米、微米级膜层的工艺开发，以及各种膜层的镀膜生产和服务。

      公司拥有多项核心技术，自主研发出纯离子镀膜设备、离子清洗刻蚀机以及磁控溅射设备等多项专利产品，开发出Ta-C、DLC碳基薄膜，低温氮化物和碳化物膜（TiN,TiSiN,ClAlSiN,CrN，TiC,CrC，CrWC等），以及高致密的金属/合金薄膜等，应用领域从交通工具到光学产品，从大众消费电子到国防航  天及科研院所，从电子元器件到新能源新材料行业。

      其中IS系列镀膜机是采用本公司成熟的专利技术①：高能离子束清洗（IonbeamCleaning）+磁控溅射源（Magnetron Sputtering），设备采用全自动化控制，模块化集成优化，设备功率高、稳定性能好、操作简单且维护方便。为满足不同的镀膜需求，腔室内可设计配置平面圆形靶、条形靶和圆柱靶等多种靶材，可获得致密度高、均匀性能好的多层复合膜，包括各种金属、电子元器件、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷薄膜等；适合研发及批量镀膜服务。

图1  IS系列磁控溅射镀膜机正面和背面

主要特点和技术优势：

•  独特的空间设计和磁控溅射专利技术①，可获得均匀性好、结合力强、摩擦系数低的各类型薄膜，包括各种金属、电子元器件、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷薄膜等；

•  优化的磁场设计，有效水冷设计，靶材可以连续24小时工作；

• 模块化工艺配方，灵活设定子配方和总配方，子配方添加/删减方便，一键式操作即可完成多层工艺配方。

•  友好的人机界面，实时记录工艺数据，利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等；

•  本项目为交钥匙设备，纯源公司提供整套解决方案，包括稳定成熟镀膜配方，设备交接后即可投产,可用于研发和量产；

• 真空室尺寸，磁控溅射和阳离子清洗源、设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做，外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。

应用领域和范围：

• 可镀Cu、 Au、Cr、Ni、Ta、TiN、TiC、TiCN、TiAlN、 CrN、 DLC等金属、非金属及陶瓷氧化物的各类膜层和复合膜层；

• 可用于液晶显示、硬质耐磨、太阳能电池、材料保护和防腐、建筑物玻璃、光学和装饰膜层、磁光信息存储、铁磁材料等各个领域；

图2   磁控溅射镀膜的应用图