PEPIC系列高端装饰镀膜设备采用等离子增强反应镀膜技术,配备的纯离子镀膜源利用高效的电磁过滤系统和电磁扫描系统过滤掉中性粒子、大颗粒离子团等杂质,大幅度提高等离子東流纯度,可以制备出致密、均匀的纳米薄膜,使膜层硬度更高,耐磨性和耐腐蚀性也更优异。特别适合用于镀制各类金属及金属氮化物膜层等。
设备特点:
·PEPIC系列设备采用高效的电磁过滤系统,能有效过滤大颗粒及杂质,可制备兼具“功能性”与“装饰性的优质膜层;
·采用全新的弧源设计,应用了Zui新的电弧技术,可大幅度提高弧源连续工作的可靠性,缩短设备维护时间,
·可用于制备各类金属、合金、金属氨化物涂层,制备的涂层具有硬度高、致密性能好、表面光洁度和耐腐蚀性能优越的特点;
·自主设计的智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统可实现远程在线控制。