真空炉、真空腔体、阀门、接头氦质谱检漏法，氦气检漏设备

检漏的工作内容就是在设备制造、安装、调试和运行过程中，判断泄漏量是否在允许范围内、检测泄漏率的大小，并查明泄漏点的位置，从而可以找出原因，避免发生因泄漏而导致的故障。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，氦质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦质谱检漏仪原理：氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。    

利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多，较早的是喷吹法，之后逐渐出现了吸枪法、氦罩法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及前级泵出口采样法等多种氦质谱检漏技术方法。

氦质谱检漏仪是器件、设备检漏的好帮手，适用于很多行业、领域，适用于电厂，比如冷凝器、热交换器、管道等；科研领域，比如试验装置、微电子、空间模拟系统等，都是可以使用氦质谱检漏仪来检测的；工业领域的压力容器、镀膜系统、真空炉等设备，汽车领域的蒸发器、管道等设备，航空航天领域的空间模拟器等，半导体领域的气路、电子元器件、工艺设备等的检漏也是适用的。

氦质谱检漏仪操作安全注意事项

1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。

2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。以防气体冲击带来伤害。

3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。以防气体冲击带来伤害。

4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飞溅烫伤。