真空炉是一种针对高端产品的工艺焊接炉，例如激光器件、航空航天，电动汽车等行业，和传统链式炉相比，具有较大的技术优势。真空共晶炉系统主要构成包括：真空系统，还原气氛系统，加热/冷却系统，气体流量控制系统，安全系统，控制系统等。其中真空系统的气密性关系着产品的好坏。所以真空共晶炉真空系统的检漏异常重要。
真空炉检漏，采用氦质谱检漏仪负压法检漏。由于共晶炉真空系统的腔体比较大，用检漏仪来抽真空效率比较低，所以需要搭配辅抽泵工作。具体方法如下：辅抽泵进气口连接三通，一边连着真空腔体，一边连着检漏仪。检漏仪检漏口挡板阀关死，先由辅抽泵对真空腔体抽真空，真空腔体的真空度抽到检漏仪工作条件，按开始按钮，缓慢打开检漏口挡板阀，关闭辅抽泵进气口挡板阀，由检漏仪维持真空腔体真空度。用连接氦气的喷枪对共晶炉真空系统可能存在泄露的位置喷吹氦气，产品若有泄漏，氦气会通过产品内部的通道漏孔进入设备内部，超过预设报警值，设备进行报警，记录泄露位置，检漏结束。
安徽歌博生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在共晶设备检漏上，在各行各业的密封泄漏问题解决中发挥着重要作用。
氦质谱检漏仪部分参数（已实际情况为准）
1.前级泵可选油泵或干泵或不配前级泵,
2. 真空模式: 5E-13 Pam3/s
吸枪法: 5E-9 Pam3/s
3. zui大的进气口压力 25 hPa,快速进入检漏模式
4. 触摸式人机界面, 5英寸大屏幕高分辨率移动式操作面板,易操作
5. Usb 端口, 方便数据传输
6. 双依灯丝设计, 抗破大气, 抗震动,降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器,小推车, 标准漏孔等
集中体现在如下几个方面：
(1)便携式：小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高：自动校准，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏：可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。