氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
下面来详细介绍检漏仪具体应用行业：
新能源：动力锂电池盖板、电芯
工业：真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程
高能物理：加速器、束线、同步辐射光源
科研领域：空调模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统
半导体及电子：工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装、微电子实验
汽车制冷：蒸发器、空调、管路、安全气囊、车轮
核工业：核电阀门、核容器
航空航天：模拟器、航天器、管路、发动机、天线、腔、液压元件、回旋装置、机翼、导弹
电厂：管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器、汽轮机组
电力行业：断路开关、灭弧室、充气柜环网柜相关配件等
医药行业：起搏器、导管、输血袋、药物包装
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：
1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
氦质谱检漏仪在检测中起着至关重要的作用，可以及早发现泄漏，预防安全隐患的发生，使用氦气检测相对安全、稳定，现已广泛应用于市场，并得到了yizhihaoping！