类金刚石薄膜是一种非晶薄膜,可分为无氢类金刚石碳膜Ta-C和氢化类金刚石碳膜DLC两类。无氢类金刚石碳膜Ta-C膜(主要由sp3和sp2键碳原子相互混杂的三维网络构成),以及四面体非晶碳(tetrahedralcarbon,简称ta-C)(主要由超过80%的sp3键碳原子为骨架构成,具有极高的硬度极低的摩擦系数、高弹性模量、宽透光范围、良好的化学惰性等优点,其物理化学性质和金刚石极其类似。通常作为耐磨涂层使用。
类金刚石Ta-C(无氢DLC)涂层是如何制成的?
纯源镀膜制备的类金刚石TA-C(无氢DLC)涂层使用纯离子镀膜技术(PIC)、高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,可适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。
类金刚石Ta-C(无氢DLC)涂层有多硬?
类金刚石Ta-C(无氢DLC)涂层与天然钻石一样硬,甚至更硬,切削刀具涂上极高硬度和低摩擦的Ta-C,它可以划伤钻石,在上面留下划痕。类金刚石碳Ta-C(无氢DLC)涂层在维氏硬度测试中测量2000-5500HV,其他类型硬度范围1000-2500HV。
类金刚石Ta-C(无氢DLC)涂层应用
类金刚石Ta-C(无氢DLC)涂层具有出色的硬度和低摩擦系数,在汽车、航空航天和医疗行业的金属加工和部件保护等应用中超越了许多传统陶瓷涂层(TiN、CrN、ZrN和AlTiN)。例如,在现代柴油发动机中,如今的高压柴油喷射系统、挺杆和活塞销几乎只涂有Ta-C。许多制造业也使用Ta-C涂层,以提高其切削工具,模具和冲模的性能。
Ta-C涂层与DLC涂层的性能比较
常规指标 | 显微硬度 | 结合力 | 摩擦系数 | 耐温能力 | 耐磨损能力 | 表面粗糙度 | H元素含量 | Ar元素含量 |
TAC | ~5500HV | 20-30N | ~0.1 | 350℃ | >9000次(1微米) | Ra0.015以下 | 无 | 无 |
DLC | ~2400HV | 20-30N | ~0.1 | 300℃ | >2000次(1微米) | Ra0.015以下 | 有(CVD法) | 有(溅射法) |
随着现代飞机和运输系统中使用复合材料作为先进结构材料的出现,切削刀具可以涂上极高硬度和低摩擦的Ta-C,以解决广泛的刀具磨损和工件损坏问题。纯源制备的Ta-C涂层种类丰富,包含Free-ParticleTAC / Colorful TAC/ TAC/ Thick TAC/ Ultra-Thick TAC/ HE TAC等,性能各有不同,广泛应用于工模具、交通工具、纺织配件、医疗器械等领域。