纯源镀制- 类金刚石涂层 PVD镀膜DLC涂层
一、定义与组成
类金刚石涂层是一种由碳元素构成的非晶态薄膜,其性质上与钻石类似,又具有石墨的原子组成结构。DLC涂层主要由不同含量的sp³和sp²键组成,形成一种亚稳态的非晶碳膜。
二、主要特性
高硬度与弹性模量:DLC涂层具有高硬度,其维氏硬度测试值通常在5000~9000HV之间,远高于其他传统涂层材料。它还具有高弹性模量,能够承受较大的压力而不发生塑性变形。
低摩擦因数与耐磨性:DLC涂层具有极低的摩擦因数,这意味着在摩擦过程中能够减少能量损失和磨损。它通常作为耐磨涂层使用,能够显著提高工具的使用寿命。
良好的真空摩擦特性:在真空环境中,DLC涂层仍然能够保持优异的摩擦性能,这使得它在航空航天等需要高真空度环境的领域中具有广泛应用。
环保性:DLC涂层是一种环保的涂层材料,通过其附着的产品经久耐用,使用寿命延长,从而减少了资源的浪费和环境的污染。
三、制备方法
DLC涂层可以通过多种薄膜沉积技术生产,包括:
物理气相沉积(PVD):采用溅射或电弧放电等方法,将碳源物质蒸发或溅射到基底表面形成DLC薄膜。
等离子增强化学气相沉积(PECVD):在沉积过程中引入射频等离子体来增强反应活性,从而实现在相对较低的温度下生长DLC薄膜。
离子束辅助沉积(IBAD):通过离子束轰击碳源目标释放碳离子,并沉积在基底表面上形成DLC涂层。这种方法有助于提高涂层的致密性和结合强度。
阴极电弧沉积(CAD)和脉冲激光沉积(PLD):利用高能电弧或脉冲激光激发碳源形成碳等离子体,在基底表面形成DLC涂层。
四、应用领域
纯源制备出的DLC涂层具有优异的性能,被广泛应用于各个领域:
汽车零部件:如发动机活塞环、凸轮轴、传动链条等部件的表面保护,以减少摩擦损失和磨损。
工具刀具:如刀片、钻头、铣刀等工具的表面保护,以延长使用寿命并提高加工效率。
电子器件:如硬盘读写头、晶体管等表面的保护和改性,以提高电子元器件的性能和寿命。
医疗器械:如人工关节、手术器械等表面的保护,以增强其生物相容性。
航空航天器件:如涡轮叶片、轴承等表面的保护和改性,以提高其耐磨性和耐腐蚀性。