纯源研发---IS-PM系列贵金属薄膜专用镀膜设备
IS-PM系列贵金属薄膜专用镀膜设备采用双腔室结构设计,工艺腔+装/卸载腔,是工艺可靠性与制程效率的完美融合。设备配备一套高能离子束清洗源(lonbeamCleaningSource),多套磁控溅射源(MagnetronSputteringSource),配合可靠的伺服电磁推进系统,设备模块化程度高、稳定性好操作简单且维护方便。
涂层:可镀 Au、Ag、Ir、Re、Pt、Ta、Ti、Cu、Cr、Ni等金属及其化合物;
应用领域:可用于电子半导体、太阳能电池、高端制造、磁光信息存储等各个领域。
注明:以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司-先进材料实验室-检测结果