特种气体的介绍
特种气体用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，工业特种气体，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
特种气体的运输
算出运输量
气体混装的合算
从容器输运的安全来说，Zui1好尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时，按照下列方法进行合算。
(1)混装压缩气体状态的可燃、有毒气体时；
可燃气体量(米3 )／300+有毒气体量(米3 )／1O0
(2)混装压缩气体状态的可燃气和液化气体状态的有毒气时：
可燃气体量(米3 )／300+有毒气体量(公斤)／1000
特种气体系统：
主管路系统的设计
对于低蒸汽压气体（WF6，特种气体厂商，DCS，BCl3，C5F8，特种气体哪里有，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，合肥特种气体，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。Zui后管道还要有良好的接地。
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