特种气体的介绍
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
特种气体它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等高精尖行业。
特种气体系统的设计与施工
辅助系统的设计
气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，特种气体供应商，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。
特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。
氦气质谱检漏的用方法
氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。真空法检测灵敏度高，能够准确定位，特种气体多少钱，能完成大容器或杂乱结构产品的检漏。可是只能完成一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的实在走漏状况。
选用真空法检漏时，需求使用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，安徽特种气体，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品走漏量丈量。依照施漏气体办法的不同，又能够将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确定位；真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品悉数罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，能够完成被检产品总漏率的丈量。
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