纯源镀膜镀膜设备定制化-手机镜头模具镀膜设备定制化
PI系列镀膜机采用独有的纯离子镀膜源技术,设备腔体结构由装/卸载腔+工艺腔组合而成,高效的电磁扫描系统和过滤系统能有效过滤掉大颗粒,制备出致密、均匀的纳米薄膜。在硬度、摩擦系数、耐冲击、耐腐蚀性能等方面具有独特优势。适合光学镜头模县及精密高端产品的镀膜。
双腔室设计,保证了工艺腔的稳定性,极大缩短了镀膜前处理时间,提高工作效率;
采用纯离子低温镀膜工艺,镀膜过程控制在80°C以下,可避免热应力和基材变形;
PI系列设备采用更加高效的等离子体过滤器,可以更有效过滤颗粒及杂质,创新性的水冷设计,散热更加高效;
全新设计的弧源,应用了Zui新的技术突破,大幅度提高弧源长期工作可靠性,缩短维护时间至20分钟;
制备的膜层中金刚石相(SP3键)可以达到75%以上的,其物理化学性质和金刚石极其类似,薄膜具有极高的硬度>5000HV(>50GPa),极低的摩擦系数(<0.1),光学透明度等一系列优异特征,可大幅度提高涂层产品使用寿命;
自主设计的全自动智能化工艺操作系统,提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力,配备实时工艺参数监控系统,允许在线远程控制。