半导体芯片超高真空封装设备
Ø主要功能
•极限真空可达5x10-8Pa
•UV紫外光源去除芯片表面有机物。紫外灯到样品表面距离可调，功率可调
•离子束清洗芯片表面氧化铝层。气体压力，流量可调
•NH3钝化芯片表面产生氧化膜保护层。气压，流量，温度可调，具备静、动态钝化功能
•封装盖镀钛，增强吸附能力，保持芯片封装后真空度
•芯片表面镀铝功能
•自动化超高真空封装
Ø主要特点
•本机全自动化实现以上功能
•抽速快，可达超高真空
•样品载台加温均匀
•载台可以在XY平面内精准移动，在Z方向倾斜±60°，角度控制精度1°以内
•双源电子束镀膜功能
•具备自动手动封装功能
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清洗(I ... | ||
