PIS624/PIS622纯离子镀膜设备主要是集纯离子镀膜技术(PIC)、高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合于一体,其独有的纯离子镀膜源专利技术!具有电磁过滤系统和高频电磁扫描系统两大创新点,电磁过滤系统可以过滤掉中性粒子、大颗粒离子团等杂质,提高了离化率,使膜层更加致密,硬度更高,耐磨性和耐腐蚀性也更优异。
可以镀制厚度范围从几百纳米到二十多微米的超级类金刚石Ta-C膜层,根据各行业产品的要求,通常典型的碳膜层厚度系列有:1-2um(用于各行业的常规薄膜),5-7um(用于汽车发动机核心零部件镀膜),20-25um(用于大载荷、长寿命要求零部件)。还可以利用纯离子技术镀制各种纯金属及金属化合物膜层如:Cr、Cu、A1、Ag、Pt、TiN、TiC、CrN,WC等。
根据市场需求公司研制出多款产品,如增配辅助阳极、增加磁过滤系统、选配矩形平面靶或圆柱旋转靶等功能,结合溅射工艺进行镀膜及成膜,是制备超硬,耐磨,自润滑,高结合力的高质量膜层的有利帮手。设备采用可编程控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合方式,可实现全自动化控制。