半导体激光器失效模式主要表现为工作期间无输出光强,或在恒定驱动电流下输出光功率退化失 效,当输出功率退化至特定阈值,就会导致激光器失效,常见的失效原因有电极退化、欧姆接触、腔 面退化、环境污染等。
材料测试:
氧化孔深度观察和测量,平面TEM 爬行位错观察,光斑均匀性观察,光束角测量, FIB-SEM-EDS, TEM, 失效分析。
可靠性测试:
HTOL、DEW、PLT、LTOL、HTRB、WHTOL、PLT、HAST、TC、PTC、TS、H2S、FMG、VVF、 MS、CA、HBM 等。
爬行位错在有源区外的生长速度比较慢,可能需要数百小时才能生长1 μm, 可是一旦到达有源区 域,生长速度就变成几分钟1 μm, 灾难性故障就会迅速发生。