反应离子刻蚀机：采用公司专利的离子束清洗源和独有的放电技术制造出的专利产品。其原理是将通入刻蚀室的工艺气体分子分解电离，产生等离子体。一方面由等离子体中的部分活性基团与被刻蚀材料表面发生化学反应，另一方面通过脉冲/射频电源，使等离子体中的正离子对被刻蚀材料表面进行物理轰击，以物理、化学相结合的方法达到对材料表面清洁、改性、刻蚀的目的。
● 可定制刻蚀范围φ100-800mm, 支持单源或多源组合；
● 刻蚀温度低于80℃，很好的兼容热敏感材料；
● 自由调节的刻蚀距离及速率，满足敏感材料应用需求。
● 等离子体密度高，刻蚀清洗效果好，具有良好的均匀性；
● 采用通用接口尺寸，模块化设计、互换性强，维护方便；
● 交钥匙设备，纯源公司提供整套解决方案，设备交接后即可投产。
| 成立日期 | 2014年10月23日 | ||
| 法定代表人 | 张心凤 | ||
| 注册资本 | 800 | ||
| 登记机关 | 合肥市高新开发区市场监督管理局 | ||
| 主营产品 | 真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。 | ||
| 经营范围 | 纳米薄膜、机电一体化、机电设备、材料科学设备及技术研发、设计、安装、维修、服务及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司，坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造；并提供多种功能膜层的工艺开发和镀膜加工服务。公司目前拥有设计、研发、工艺、市场和生产等各方面的专业型人才。在阴极弧（CathodeArc）、磁控溅射(Sputter)、电子束蒸发(E-beamEvaporation)、离子束刻蚀清 ... | ||