TAC涂层,是一种无氢DLC(类金刚石)涂层,超硬类金刚石涂层可以达到超过80%以上的(金刚石)SP3键含量,具有极高的硬度可控制在大约2500~5500HV。极低的摩擦系数、高弹性模量、宽透光范围、良好的化学惰性等优点,其物理化学性质和金刚石极其类似。厚度可做:1nm~3μm。
超厚类金刚石涂层工艺厚度可控制在6~20μm。通过降低涂层的内应力和优化膜层结构可制备出超厚的膜层,在保留TAC膜层较高的硬度、优异的自润滑性能、高热导率、低介电常数、宽带隙以及生物兼容性等优点的同时,可以大幅提高产品的耐磨、耐腐蚀等性能。
目前现有的成熟技术制备的Ta-C涂层厚度基本稳定在3μm以下,一般而言,在涂层结合力达标的情况下,涂层的厚度和耐磨性、耐腐蚀性能成正比,对于一些特殊情况下的使用,现有成熟技术制备的Ta-C涂层很难达到3μm以上的超厚要求。
而超厚类金刚石涂层工艺可大幅增加膜层厚度。