特种气体 specialilygas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。目前，特种气体供应商，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。特种气体应用于国民经济的很多行业，它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展，特种气体价格，无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。
20 世纪 80 年代，电子产业的兴起推动特种气体的需求提高，随着气体供应商供气模式的引入，合肥特种气体，国内企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市场逐步发展起来。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤，其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，在该容器储存场地2m内，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。
灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体分类：电子气体是指用于半导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，高纯特种气体，但数量和质量与发达国家相比，尚有较大差距；电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，被广泛的应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。
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