比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
无尘室FFU控制方式:目前FFU一般采用单相多速交流电机、三相多速交流电机和直流电机。电机的供电电压大致有110V、220V、270V、380V四种。电话和火警设备不能少,在无尘室工程厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。
由于无尘室的平面和空间布置特殊,无尘室工程,在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应特别注意按规定选用符合要求的系统和设备。无尘室FFU控制方式的选择:多档开关控制系统:此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。
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