对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0。6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,氦质谱检漏设备,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;使用氦气喷在管道密封接头,焊缝处喷氦,如果被检管道某处有泄漏,当氦喷到漏孔上时,氦气会立刻被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室内,氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s数量级,仪器响应快,氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,。
对检漏方法的要求:检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;反应时间短,可以提高工作效率;根据具体被检对象,所用方法简便易行,经济实用。检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
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